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洁净室设计标准

时间:2020/4/13

ISO14644-1、GB50073-2001洁净厂房标准规范


    注:①每个采样点应至少采样3次;
       ②本标准不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性;
       ③根据工艺要求确定1~2种粒径;
       ④各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由公式确定,要求的粒径在0.1~5μm范围,包括0.1μm及5μm。

    式中:Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整数,有效位数不超过三位数。
    N——洁净度等级,数字不超出9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。
    D——要求的粒径(μm)。
    0.1——常数,其量纲为μm。

    美国联邦标准

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